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NO2 가스 센서 및 그 제조 방법

대표 발명자

명재하
출원번호

10-2021-0055057 (2021-04-28)
등록번호

10-2529973 (2023-05-02)

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기술정보

NO2 가스 센서 및 그 제조 방법
발명의 효과

본 발명의 NO2 가스 센서는 센서 반응성 및 안정성이 우수하며 높은 재현성 및 선택성을 가진다. 본 발명의 NO2 가스 센서의 제조 방법은 불순물로 인한 오염을 최소화할 수 있는 고진공 환경의 진공 박막 증착 공정을 통해 감도가 우수한 NO2 센서를 제공할 수 있다. 또한 불량을 최소화하여 생산성을 향상시킬 수 있다.
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