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특허 기타특허본 발명의 다양한 실시예는 스퍼터링 공정을 통해 제조되고, 센서 반응성, 선택성, 재현성 및 안정성이 우수한 NO2 가스 센서 및 그 제조 방법에 관한 것이고, NO2 가스 센서는, ZnO, SnO2 및 NiCr로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나의 결정립을 포함하는 제1층; 상기 제1층에 배치되고, ZnO, SnO2 및 NiCr로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나의 결정립을 포함하되 상기 제1층의 물질과 다른 물질을 포함하는 제2층을 포함한다.
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- 대표 발명자
- 명재하
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- 출원번호
- 10-2021-0055057 (2021-04-28)
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- 등록번호
- 10-2529973 (2023-05-02)
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