분석시험의뢰
플라즈마 클리너
장비명
플라즈마 클리너 (PDC-002)
담당교수
강동구
장비스펙
HARRICK PLASMA(PDC-002)
활용분야
플라즈마 클리너
세부내용
○ 장비 설명
- 기본 플라즈마 클리너보다 4배 더 큰 용량을 갖춘 탁상용 플라즈마 기기
- 나노단위 표면 클리닝 및 표면 활성화에 광범위하게 사용 가능
○ 규격
- Larger, tabletop unit
- Adjustable RF power (Low, Medium, and High power settings)
- Applies a maximum of 30W to the RF coil
- Includes a 6" diameter x 6.5" length Pyrex chamber
- Hinged door with viewing window
- Active fan cooling
- Integral switch for a vacuum pump
- 1/8" NPT metering valve to qualitatively control gas flow and chamber pressure
- 1/8" NPT 3-way valve to quickly switch from introducing gas, venting and isolating the chamber
- Size: 11" H x 18" W x 9" D
설치공간
인천광역시 연수구 아카데미로 119, 인천대학교 자연과학대학(5호관) C동 430호
